400K的和13.56Mhz的等離子清洗機機有什么不同， 各用在什么行業(yè)

常用的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為 40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。
不同等離子體產(chǎn)生的自偏壓不一樣，超聲等離子體的自偏壓為1000V左右，射頻等離子體的自偏壓為250V左右，微波等離子體的自偏壓很低，只有幾十伏，三種等離子體的機制不同。超聲等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。但因為40KHz為較早的技術(shù)，其射頻匹配后能量消耗過大，實際作用到清洗物上的能量不足原有能量的1/3。所以實際應(yīng)用中大多采用13.56MHz射頻等離子體清洗，這個頻率也是現(xiàn)在國際上最流行的，價格也是最高的。

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